UNIVERSAL IDENTIFIER: http://hdl.handle.net/11093/4538
SUPERVISED BY: Díaz Otero, Francisco Javier
DOCUMENT TYPE: doctoralThesis
ABSTRACT
The objectives to be acquired during the development of this thesis are, in terms of
knowledge, skills and competences:
1. Plan and workflow of tasks to develop a new line of low‐loss waveguides by
means of Zn diffusion or an alternative route over the InP wafer.
2. Report on the effects of Zn diffusion over the performance of active building
blocks, validation of the Zn diffused doping in the generic platform process, process
window of the Zn diffusion taking into account Zn diffusion tolerances and layer
thicknesses.
3. Summary of loss measurements and impact in the performance of passive
building blocks.
4. Datasets from these measurements to feed the compact models obtained in step
1.
5. Complementary skills: scientific publications, conferences, workshops and schools Los objetivos a adquirir durante el desarrollo de esta tesis son, en términos de
conocimientos, habilidades y competencias:
1. Planificar y realizar las tareas para desarrollar una nueva línea de guías de onda de bajas‐pérdidas por
mediante la difusión de Zn o una ruta alternativa sobre la oblea de InP.
2. 2. Informe sobre los efectos de la difusión de Zn en el rendimiento de los bloques activos
bloques activos, validación del dopaje por difusión de Zn en el proceso de la plataforma genérica, proceso
proceso de la difusión del Zn teniendo en cuenta las tolerancias de la difusión del Zn y los
capas.
3. 3. Resumen de las mediciones de pérdidas y su impacto en el rendimiento de los bloques pasivos.
pasivos.
4. Conjuntos de datos de estas mediciones para alimentar los modelos compactos obtenidos en el paso
1.
5. Competencias complementarias: publicaciones científicas, conferencias, talleres y escuelas
Traducción realizada con la versión gratuita del traductor www.DeepL.com/Translator Os obxectivos para adquirir durante o desenvolvemento desta tese son, en termos de coñecementos,
habilidades e competencias:
1. Planificar e realizar as tarefas para desenvolver unha nova liña de guías de onda de baixas‐perdas por mediante
a difusión de Zn ou un roteiro alternativo sobre a oblea de InP.
2. 2. Informe sobre os efectos da difusión de Zn no rendemento dos bloques activos
bloques activos, validación da dopaxe por difusión de Zn no proceso da plataforma xenérica, proceso
proceso da difusión do Zn @teniendo en cuenta as tolerancias da difusión do Zn e os
capas.
3. 3. Resumo das medicións de perdas e o seu impacto no rendemento dos bloques pasivos.
pasivos.
4. Conxuntos de datos destas medicións para alimentar os modelos compactos obtidos no paso
1.
5. Competencias complementarias: publicacións científicas, conferencias, talleres e escolas
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